应用概述

半导体芯片这类易碎产品，在相关过程需要进行"轻触"控制，比如穿孔、熔合、粘贴或焊接过程中必须要控制在芯片上施加的力。施力不当可能会损坏芯片或者处理不到位。所以，在装备上 集成一个力传感器来进行闭环控制是非常必要的。

使用产品

微型圆柱型力传感器LCM100，配相应信号处理模块 (如IPM650显表、 IDA10双输出变送器、 IAA300差分输出放大器)。

工作原理：

1、在驱动和取放端之间安装LCM100力传感器。

2、在驱动加载到芯片的过程中，LCM100能实时精确监测力值大小。

3、输出力值可以显示在手持式显示仪表IHH500或者板面式显示仪表IPM650上。

4、或者，使用IDA100或IAA300还可以输出模拟量连接到PLC的采集端。

5、IAA300变送器为差分式输出，低噪声能使其更精确的反馈力值。