主要用途:
ISP离子源电源适用于阳极层离子源驱动电源。
主要特点:
A 具有行动稳定电压功能,具有理想的电压陡降特性,有效抑制离子源源头表面打火。
B 脉冲输出,峰值可达2200V。
C 频率40kHz,占空比20%-80%。
D 可选择手动控制/模拟量接口控制,可选配RS485通讯接口。
主要型号:
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