VAT S121型铝合金真空插板阀，作为VAT最经典的阀门系列之一，广泛应用于低温泵或分子泵的隔断、科研系统Loadlock隔断、工业真空、真空镀膜设备、半导体设备前级泵隔离等。

S121真空插板阀具有通用性强、成本低、易于维护、关闭位置机械锁定、能抵御全压差等特点。更有嵌入式版本节省设备空间。

1. 经典的VATLock专利阀板锁紧机构。依靠水滴型滚珠槽配合连接与正反面阀板的弹簧片，完成轴向撑开动作，实现关闭位置机械锁死。避免因压缩空气失效引起的设备故障。水滴型槽更是使阀门运动更加平缓，减少冲击，延长使用寿命。

   
   

2. 运动中的低颗粒物生成。

阀板在真空中是悬浮的，没有轴承、没有轨道。

3. 易于维护。容易拆卸，只需松开两侧螺丝即可抽出驱动器和阀板。简单维护无需拆卸法兰。维护后装回无需调整。且拆卸占用空间极小。

4. 模块化设计。各种形式驱动器、阀体、阀板机构都能互换、兼容。

5. 小尺寸（DN50-100）更有无法兰的嵌入式紧凑版本供选择。

详细技术规格

高真空泵隔断：

离子注入设备